真空电镀：Vacuum Metalizing，即是物理气相沉积（PVD），即在真空下将原子打到靶材表面上达到镀膜的目的。最早运用于光学镜片，如航海望远镜镜片，后来随着技术的改进，延伸到了唱片、磁盘、光盘、手机外壳、机械刀具等材料上的装饰镀膜、材料表面改性等。
| 归档 | |
| 中文名 | 真空电镀 |
| 英文名 | Vacuum Metalizing |
| 别称名 | 物理气相沉积（PVD） |
| 技术分类 | 薄膜技术 > 物理气相沉积(PVD) |
| 下属分类 | 物理气相沉积 （Physical Vapor Deposition，PVD） > 真空蒸发（真空蒸发） > 磁控溅射（真空溅射） > 离子镀 （真空离子镀） |
工艺特点
| 工艺成本 | 模具费用（无） 单件费用（中） 批量生产（中） |
| 典型应用 | 反射涂层； 消费电子产品和隔热板的表面处理； |
| 产量范围 | 单件到大批量皆可 |
| 质量优势 | 适合高质量，高亮和产品表面保护层 |
| 生产效率 | 速度慢，具体取决于设备内靶材存放量，通常为6小时/周期（包括喷漆工序） |
适用材料
几乎所有金属、合金、及陶瓷材料。
自然材料会影响真空环境，不适合真空电镀。
除了自然材料以外，适合真空电镀的材料包括金属类材料、软硬塑料（ABS料、ABS PC料、PC料等等）、复合材料、陶瓷、和玻璃等。
最常用于真空电镀表面处理的是铝、其次是银和铜。
应用领域
真空蒸发应用领域
| 按技术分 | 典型应用 |
| 电阻加热 | 1）制镜工业 2）塑料、纸、钢板上金属化涂层 |
| 电子束加热 | 1）光学工业（如塑料透镜） 2）抗腐蚀和高温氧化涂层 3）热障涂层 4）塑料、纸、钢板上金属化涂层 |
| 感应加热 | 核工业 |
| 电弧加热 | 导电层 |
| 激光加热 | 超导薄膜 |
真空溅射应用领域
| 按行业分 | 应用分类 | |
| 电子工业 | IC半导体 | 电极，引线。绝缘层，表面钝化膜 |
| 显示元件 | 透明导电膜，光色膜，绝缘膜，表面钝化膜 | |
| 磁记录 | 软/硬性磁膜，磁头缝隙材料，绝缘层，特殊材料 | |
| 磁记录 | 软/硬性磁膜，磁头缝隙材料，绝缘层，特殊材料 | |
| 约瑟夫森元件 | 超导膜，绝缘膜 | |
| 光电子学 | 光IC | |
| 其他电子元件 | 电阻薄膜，印刷机薄膜热写头，压电薄膜，电极引线 | |
| 太阳能利用 | 太阳能电池，选择吸收膜，选择反射膜 | |
| 光学应用 | 反射镜，光栅 | |
| 机械、化学应用 | 润滑，耐磨损，耐腐蚀，耐热 | |
| 塑料工业 | 塑料装饰，硬化 | |
真空离子镀应用领域
| 按应用分 | 材料：典型应用 |
| 表面硬化 | 型钢、低碳钢：模具、机器零件 不锈钢：手表壳 硬质合金、高速钢：刀具、模具 |
| 耐腐蚀 | 高纯钢：飞机、船舶 低碳钢螺栓：一般结构用材料 |
| 装饰 | 不锈钢、黄铜：手表、装饰品、建筑装饰 塑料：着色涂层、塑料镜片镀玻璃 |
| 电子工业 | Si薄膜：导电膜、集成电路 金属：电容 陶瓷、树脂：印刷板、薄膜集成电路 铜合金：触点材料 石英：耐火陶瓷—金属焊接 |
| 光学 | 玻璃：镜片耐磨涂层 透明塑料：眼镜用镜片 |
| 核能 | 铀：核反应堆 ZrAI：核聚变装置 铜壳体：加速器 |
| 塑料 | ABS塑料：汽车零件、电器零件 |
耐高温 腐蚀 | Ni基或Co基高温合金：发动机叶片 |
| 耐热 | 钢、不锈钢：排气管、耐火金属材料 |
设计考虑因素
真空电镀所使用设备通常较为高昂，加上工艺流程复杂，对环境要求高；为此真空电镀单价比水电镀昂贵。
真空电镀受设备内真空环境体积影响，因此对靶材尺寸有一定的要求，不适合大靶材，常见的真空腔室内靶材应小于1.2 * 1.1m（3.94 * 3.3ft），3D工件应小于1.2 * 0.5m（3.94 * 1.6ft）
真空电镀的工件表面必须保持干燥、光滑，否则会影响处理效果。
真空电镀可镀色彩丰富，可以镀7色，比水电镀的颜色要丰富，可达到阳极铝、亮铬、金、银、铜和炮铜（一种铜锡合金）等丰富多彩的效果。水电镀一般只有镀铜（红色），镀镍（偏黄的银色），镀金，镀银，镀枪（黑色，有深黑，浅黑等），镀铬（银白色）等单调色彩。
真空电镀是最常见的金属表面处理技术。
工艺成本
真空电镀工艺流程复杂，非常依赖人工操作。工件（靶材）需要喷涂、装卸、再喷涂，并且也取决于工件的复杂度和数量，所以人力成本很高。
环境影响
真空环境下辐射小、环境污染小，真空电镀现为各行业中广泛应用。
工艺过程详解（图文 视频）
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步骤：在工件上先喷一层底漆，再做电镀。由于工件是塑料件，在注塑时会残留空气泡，有机气体，而在放置时会吸入空气中的水分。另外，由于塑料表面不够平整，直接电镀的工件表面不光滑，光泽低，金属感差，并且会出现气泡，水泡等不良状况。喷上一层底漆以后，会形成一个光滑平整的表面，并且杜绝了塑料本身存在的气泡水泡的产生，使得电镀的效果得以展现。
真空蒸发镀工艺流程
工件>镀前处理>装件>烘烤>离子轰击>预熔>蒸发沉积>冷却>取件>后处理>成品
真空溅射镀工艺流程
工件>镀前处理>装件>抽真空>烘烤、轰击>预熔>溅射沉积>冷却>取件>后处理>成品
真空离子镀工艺流程
工件>镀前处理>装件>抽真空>烘烤>离子轰击>离子沉积>冷却>取件>后处理>成品