MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanical System），是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。
MEMS传感器
MEMS中的核心元件一般包含两类：一个传感器，以及一个信号传输单元。传感器将外界信号转换为电信号，执行器与外界产生作用，信号传输单元能够对信号进行处理以及与其他微系统连接。MEMS传感器具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等优点，正在逐渐取代传统机械传感器。
MEMS工作原理
随着电子技术的发展，MEMS的应用领域越来越广泛，由最早的工业、军用航空应用，已经走向普通的民用和消费市场。MEMS传感器作为获取信息的关键器件，对各种传感装置的微型化起着巨大的推动作用，已在太空卫星、运载火箭、航空航天设备、飞机、各种车辆、生特医学及消费电子产品等领域中得到了广泛的应用。
MEMS行业发展历程
在智能手机上，MEMS传感器提供在声音性能、场景切换、手势识别、方向定位、以及温度/压力/湿度传感器等广泛的应用;在汽车上，MEMS传感器借助气囊碰撞传感器、胎压监测系统(TPMS)和车辆稳定性控制增强车辆的性能;医疗领域，通过MEMS传感器研成功制出微型胰岛素注射泵，并使心脏搭桥移植和人工细胞组织成为现实中可实际使用的治疗方式;在可穿戴应用中，MEMS传感器可实现运动追踪、心跳速率测量等。
传感器、通信与计算机被称为现代信息系统的三大支柱，传感器技术水平是衡量一个国家信息化程度和国家科技发展水平的重要指标之一。我国传感器产业起步较晚，在高端传感器领域，与世界领先水平更是一直存在差距。据工信部电子 元器件 行业发展研究中心公布的数据，我国敏感 元件 与传感器大约有60%依赖进口，核心芯片80%以上依赖进口，国产化缺口巨大。
相关预测数据显示，全球MEMS行业在未来几年将持续每年两位数的增长，这个增长速度远超全球集成电路行业的增速。相信在国内MEMS行业的共同努力下，将很快实现我国MEMS产业的飞速发展和自主可控。